【大成報記者杜忠聰/臺南報導】半導體供應鏈中特殊氣體和化學品的領導廠－宏廣新技，位於南科的專業氣體純化分裝工廠，以及耗資1億元的高純化氣體奈米實驗室27日正式啟用，AIR WATER 社長松林良祐、日本三井物產室長松山尚史及台灣三井物產董事長尾嵜朋史親自出席，台灣半導體產業知名企業、崇越科技、台井科技、東聯化學、經濟部投資台灣營運長陳明珠、AIT 美國在台協會、亞利桑那州駐台貿易投資辦事處、台南立委陳亭妃等多位貴賓親自蒞臨。

身為護國神山群的特殊氣體供應商，宏廣新技在BCP(Business Continuity Planning)要求下實現在地化供應，並期許成為第三方公證單位，提供高純化氣體和化學品之高端專業分析驗證，將為台灣的半導體特殊氣體化學品供應鏈，做出巨大貢獻。

日商神助攻，宏廣新技自111年獲得日本工業氣體製造大廠愛沃特株式會社(AWI)，以及百年企業三井物產株式會社(MBK)，這兩家日商企業入股後，不僅握有全球稀缺的原物料資源，藉由宏廣在特殊氣體的高端製造技術，並投資在南科工的新廠擴建，第一期廠區2,400坪，將生產半導體級超純度二氧化碳CO2每月達1,200噸及一氧化二氮N2O每月達140噸，接著第二期2,600坪廠房，也將在年底啟用，作為特用氣體倉儲使用，以及製造氟碳類氣體產品，預計到2026年宏廣將成為台灣主要半導體特殊氣體製造廠之一，提供特殊氣體種類將超過8-9種以上，完善半導體特用氣體供應鏈及高純化技術，在地化短鏈供應。

宏廣新技董事長林菊梅指出，在全球聚焦在碳捕捉CCUS的議題下，宏廣具備最先進的CO2捕捉與純化技術，將石化鋼鐵工業產出的工業級CO2副產物，純化為半導體廠所需求的超高純CO2，超高純度的二氧化碳在EUV製程裡作為一個激光發射器的很重要介質，因此氣體的純度會影響到整個製程的良率，目前超高純6N的CO2用在EUV極紫外光的曝光機，宏廣台南廠已可生產8N超高純度的CO2，用在7奈米製程，甚至是5奈米以下，高端製程愈精進發展，對CO2的純淨度的要求只會更為嚴苛！

宏廣新技執行長張錫濱表示，COVID-19後及地緣政治因素帶給半導體供應鏈不能再依賴世界工廠，全球供應鏈都朝友岸工廠發展，各客戶近年也加速BCP要求，重要的原物料供應不能單靠單一國家，且要就近生產供應，宏廣南科廠宣示啟動在地化，提供高端特用純化技術，來服務台灣半導體產業，穩健邁向ESG永續經營。

宏廣新技為半導體特殊氣體的領先企業，有信心、決心和專業高端技術，結合日本在原物料上的尖端研發，宏廣不只是提供產品也是技術的橋樑，感謝半導體客戶先進製程的要求，使宏廣不斷精進，未來台南成功營運模式將整廠輸出到日本、美國、德國，足見宏廣在半導體供應鏈上扮演著關鍵角色，期待與台灣半導體產業在全球佈局更上一層樓。